紫外成像器件光電陰極封接焊料熔層缺陷對(duì)氣密性的影響

徐江濤，楊曉軍，張?zhí)瘢n昆燁

(1.微光夜視技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，陜西 西安 710065；2.北方夜視科技集團(tuán)有限公司，云南 昆明 650223；3.西安應(yīng)用光學(xué)研究所，陜西 西安 710065)

引言

在紫外成像器件的研究中，為了實(shí)現(xiàn)光電陰極與管體在真空中傳遞封接，保證封接氣密性，必須要先在管體陰極封接盤(pán)中熔化一層低熔點(diǎn)焊料，這層焊料的質(zhì)量好壞直接影響著封接氣密性。另外，紫外光電陰極靈敏度和電子發(fā)射穩(wěn)定性與傳遞溫度有著重要關(guān)系，因此要求陰極封接焊料熔點(diǎn)不能太高。從制管總體工藝考慮，我們選用低熔點(diǎn)InSn合金為熱銦封焊料，因其具有熔點(diǎn)低、塑性和流散性好、蒸氣壓低等特點(diǎn)[1-3]，特別適用于熱膨脹系數(shù)不同的材料非匹配封接[4-6]。在對(duì)管體InSn焊料熔化過(guò)程中，常出現(xiàn)有焊料流散不均、堆積不連續(xù)、體內(nèi)氣孔等情況，使封接層常出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象，嚴(yán)重影響了器件研制進(jìn)度和制管成品率，特別是由焊料層缺陷引起的慢漏氣，大大縮短了器件的使用壽命。為確保陰極與管體封接氣密性和器件壽命，開(kāi)展了管體化銦專(zhuān)題研究。

1 管體化銦裝置與過(guò)程

紫外成像器件管體化銦是在沈科儀廠生產(chǎn)的HVGRL-500型超高真空設(shè)備中完成的，主抽泵抽速為350 0 L/s的磁懸浮分子泵，極限真空度2×10-6Pa，前級(jí)真空泵為無(wú)油機(jī)械泵，系統(tǒng)加熱采用LIP溫控器進(jìn)行自動(dòng)控制，設(shè)備配有試驗(yàn)過(guò)程曲線。

管體化銦過(guò)程是：把清洗干凈的InSn焊料環(huán)裝入經(jīng)過(guò)500 ℃氫氣處理的管體陰極盤(pán)中，連同定位夾具一起放入真空……