一種制備金紅石型二氧化鈦及其形成半導體結構的方法
2014-03-19 15:37:28
無機鹽工業 2014年1期
關鍵詞：方法
本發明公布了一種金紅石型二氧化鈦的制備方法。具體方法：1）將過渡金屬（如釩、鉻、鎢、錳、釕、鋨、銠、銥、鉑、鍺、錫或鉛）置于氧氣（O2）氛圍使之氧化，反應溫度為200～400℃；2）再通過原子層沉積將氣態鹵化鈦前驅體和水與經氧化的過渡金屬在450℃左右反應，得到金紅石型二氧化鈦產品。此外，本發明還介紹了制備具有半導體結構金紅石型二氧化鈦的方法。 US,8609553
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