海歸博士的“光刻膠”國產(chǎn)夢

孫樹寶

“對于中國的光刻膠市場，大約92%的產(chǎn)品來自國外，國內(nèi)生產(chǎn)的不足8%，我所努力的就是這8%之外的光刻膠生產(chǎn)。”海歸博士孫遜運說。

光刻膠，又名光阻，是半導(dǎo)體芯片制造工業(yè)的核心材料，而芯片又是國防、航天、信息等多個領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)。

目前，國內(nèi)企業(yè)對于光刻膠的需求多數(shù)依賴進口。為了打破國外對高端光刻膠的壟斷，2010年，加拿大達爾豪西大學(xué)博士、美國密蘇里大學(xué)博士后孫遜運回到山東濰坊高新區(qū)創(chuàng)立了濰坊星泰克微電子材料有限公司，致力于光刻膠的研發(fā)和生產(chǎn)。

光刻膠的實驗和生產(chǎn)要求極為嚴格，僅是生產(chǎn)操作間就必須要達到百級凈化標(biāo)準(zhǔn)，特殊工序甚至要求達到十級凈化標(biāo)準(zhǔn)，為了避免感光還要求在黃色光源下進行。就是靠著這些嚴格的外在標(biāo)準(zhǔn)、細膩的思維和耐得住寂寞的潛心研究，孫遜運和他的創(chuàng)業(yè)團隊已研究成功并申請注冊了高硅光刻膠的5項專利技術(shù)。

2013年6月，該公司擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的光刻膠進入量產(chǎn)階段，首批投產(chǎn)的30加侖光刻膠投放市場，用于LED芯片的加工。這標(biāo)志著將有5萬片LED芯片會用上“中國芯”。（文圖來源：新華社）