OLED用含鉬和/或鋁金屬膜的蝕刻液及其制備方法

專利申請號:CN201110316299.8

公開號:CN102392248A

申請日:2011.10.18

公開日:2012.03.28

申請人:綿陽艾薩斯電子材料有限公司

本發明公開了一種OLED用含鉬和/或鋁金屬膜的蝕刻液及其制備方法。該蝕刻液，包括硝酸水溶液、磷酸水溶液、甜菜堿兩性表面活性劑和水。其中，所述硝酸水溶液占所述蝕刻液總重的1% ～10%，優選2% ～8%;所述磷酸水溶液占所述蝕刻液總重的40% ～80%，優選50% ～70%;所述甜菜堿兩性表面活性劑占所述蝕刻液總重的0.1% ～5%，優選0.5% ～2%;余量為所述水。該蝕刻液能有效改善蝕刻液和金屬膜之間固液界面張力，提高金屬表面的潤濕性，不但穩定了蝕刻速度，提高蝕刻精度，最重要的是，能夠有效的控制錐角在20°～70°，且沒有蝕刻殘渣，是一種高效高精度的蝕刻液，具有重要的應用價值。