民轉軍技術

電子工業用金基蒸發材料及濺射靶材

【關鍵技術參數或產品性能】

金基蒸發材料：

1)高純金5N及純金4N產品

高純金：純度Au≥99.999%、雜質總量≤10PPM、其中C≤0.3PPM；純金：純度Au≥99.99%、雜質總量≤100PPM。

2)金鈹AuBe1-2.5產品

成分：Be1-2.5、Au余量、雜質總量≤0.01%。

3)金鍺AuGe2-12、金鍺鎳AuGe10-12Ni1-5合金產品

成分：Ge2-12、Au余量、雜質總量≤0.01%；Ge10-12、Ni1-5、Au余量、雜質總量≤0.01%。

4)金錫合金、金鋅合金、金鎵合金產品

產品規格：￠2×5mm、￠3×4mm、≠2×10×10mm等規則顆粒，絲材、片材。

金基濺射靶材：

高純金靶材產品：純度：Au≥99.999%、雜質總量≤10 PPM、C≤0.3PPM；

金鍺AuGe12、金鍺鎳AuGe11.5Ni5合金靶材產品：

金鍺AuGe12成分：Au88%,Ge余量、雜質總量≤0.01%、C≤0.3PPM；

金鍺鎳AuGe11.5Ni5成分: Au83.6%、Ni5%、Ge余量、雜質總量≤0.01%、C≤0.3PPM；

產品規格: 高純金厚度3mm、直徑6英寸、8英寸、127×382mm等；AuGe12、AuGe11.5Ni5合金靶材、厚度6mm、直徑6～8英寸、127×382mm等。

關鍵技術：高純金原料批量制備技術；連鑄工藝連鑄高純金及合金技術；精密澆鑄AuBe、AuGe、AuGeNi合金規則顆粒技術；制備超低含碳量高純金蒸發源及濺射靶材技術；采用包覆熱軋加工制備AuGe、AuGeNi合金箔材技術。

本產品為單位自有技術，目前處于規模化生產階段，屬國內先進水平。

【功能及主要應用情況】

高純金及合金具有極好的化學穩定性，接觸電阻低而穩定，導電性和導熱性良好，易形成膜、易鍵合和與半導體基體好的附著性。通過添加合金元素形成金鍺、金鍺鎳、金鈹、金鎵、金錫等合金后可改變其熔點，改善與不同半導體芯片材料的潤濕性、附著性，特別是可以與化合物半導體芯片形成金屬-半導體(M-S) 歐姆接觸。高純金及合金通常加工成蒸發源或濺射靶材形狀，使用真空蒸發或濺射工藝沉積在半導體芯片表面，形成歐姆接觸、電極和連線膜，是制造半導體芯片的關鍵基礎材料，大量應用于制造發光二極管(LED)，軍用和民用微波通信器件，航天、航空等重要領域用高轉化率半導體化合物(GaN、GaAs等)芯片太陽能電池等。

【產品(技術)持有單位】貴研鉑業股份有限公司

玻璃纖維空氣濾紙

【關鍵技術參數或產品性能】

通風用濾紙(ASHRAE)：過濾效率15～80%，過濾阻力15～90Pa；

中、高效空氣過濾器用濾紙(HEPA)：過濾效率：95～99.99%(0.3μm)；

過濾阻力160～380Pa；

超高效空氣過濾器用濾紙(ULPA)：過濾效率：99.995～99.999%(0.3μm)；過濾阻力400～450Pa；

厚度0.30-0.35mm；抗張強度≥1.2 kN/m(縱向)，≥0.5 kN/m(橫向)；挺度≥1.2mN．m(HEPA、ULPA)，≥1.5 mN．M(ASHRAE)。

本產品為單位自有技術并獲國內發明專利，目前處于規模化生產階段。

【功能及主要應用情況】本產品用于醫藥、電子、食品、紡織、高檔辦公娛樂場所等行業的空調系統中的空氣過濾。一般通風用濾紙(ASHRAE)主要用于普通空調系統、燃氣輪機與空壓機；中、高效空氣過濾器用濾紙(HEPA)主要用于10萬級～萬級潔凈室或工作臺、核電站排風、高檔家用吸塵器、空氣凈化器、防毒面具等；超高效空氣過濾器用濾紙(ULPA)主要用于芯片廠及100級、10級、1級潔凈廠房等。

【產品(技術)持有單位】中材科技股份有限公司

太陽能電池用鍺單晶片

【關鍵技術參數或產品性能】

本產品為單位自有技術并獲國內發明專利，目前處于中試階段。

【功能及主要應用情況】鍺單晶片用于生產高效率三結砷化鎵太陽能電池，主要應用于衛星、空間站等太陽能電池，及地面海島、邊防哨所以及建設地面高倍聚光太陽能電站。

【產品(技術)持有單位】云南中科鑫圓晶體材料有限公司

TbDy-Fe磁致伸縮材料

【關鍵技術參數或產品性能】材料磁致伸縮性能：l≥1000ppm，

力學性能：抗彎強度(σbb)≥20Mpa，抗壓強度(σbc)≥250MPa

本產品為單位自有技術并獲國內發明專利，目前處于中試階段。

【功能及主要應用情況】用這種材料做驅動元件的器件具有功率大，體積小，結構簡單，響應快，精度高，頻帶寬，可靠性高等優點。主要用于制造致動器、致動器(輸出位移或力的伺服器件)、傳感器和聲表面波器件。

【產品(技術)持有單位】包頭稀土研究院