高精度測(cè)量機(jī)測(cè)頭結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與分析
2013-10-09 06:02:58盛碩陳賀楊橋
中國(guó)信息化·學(xué)術(shù)版 2013年5期
盛碩 陳賀 楊橋
引言
隨著納米技術(shù)和精密加工技術(shù)的發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量技術(shù)和高精度計(jì)量檢測(cè)設(shè)備要求越來(lái)越高。各國(guó)研究所和各大高校投入大量的人力和物力在高精度的計(jì)量測(cè)量設(shè)備的研發(fā)上，高精度的微納測(cè)量平臺(tái)需要高精度的測(cè)頭相匹配，高精度的測(cè)頭的研發(fā)成為測(cè)量領(lǐng)域的趨勢(shì)。
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