3D MEMS傳感器深入應用市場

VTI科技在第九屆電子峰會（Electronics Summit2011）上重點介紹了其三維MEMS(3D MEMS)傳感技術，它更加安全、高效、高質(zhì)量，并能帶來更低的功耗。

VTI科技副總裁兼北美區(qū)總經(jīng)理Scott Smyser介紹說：“3D MEMS傳感器由帶有金屬電容板的底座、帶有運動感應結(jié)構的中間層和頂蓋三個不同的硅層用玻璃粘合在一起組成，每層都有金屬薄膜形成電極，從而成為電容式傳感器，它可以在三個正交的方向上檢測到加速度。”VTI的各種產(chǎn)品組合包括陀螺儀、加速度計、諧振器和振蕩器、壓力測量計。3D MEMS傳感器是理想的植入式醫(yī)療裝置，具有準確性、可靠性、體積小、功耗低等優(yōu)點。作為一家擁有20多年MEMS行業(yè)經(jīng)驗、年出貨量達3000多萬個傳感器的全球最大獨立MEMS廠商之一，VTI科技的核心技術是3D MEMS傳感器。

2010年，VTI產(chǎn)品在汽車市場的增長非常顯著。“如果所有汽車配備電子車身穩(wěn)定系統(tǒng)(ESC)，就可以挽救交通事故中更多的生命。”Scott Smyser介紹說，一些應用如車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖和車內(nèi)心跳檢測等在汽車電子中的需求非常旺盛。

MEMS器件最早的批量應用源于汽車電子產(chǎn)業(yè)，但隨著近年來消費電子領域的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn)，消費電子、醫(yī)療領域也已經(jīng)成為MEMS新拓展的應用市場。VTI在消費電子領域的產(chǎn)品包括應用于便攜電子產(chǎn)品的加速度計和陀螺儀，其產(chǎn)品以小尺寸、低功耗和精度為重點。“人口老齡化滋生了更多遠程監(jiān)護的需求。每一分鐘，在世界上某個地方，一個包含VTI加速度計的心臟起搏器都被安裝于患者體內(nèi)，讓他獲得更好的呵護。”Scott Smyser告訴記者，健康保健領域帶來了MEM傳感器的第三次浪潮，也被VTI科技視為高價值市場。

基于其3D MEMS傳感器的3軸陀螺儀CMR3000是VTI科技最近主推的產(chǎn)品，該產(chǎn)品將陀螺儀通過SPI數(shù)據(jù)口輸出，其特殊的制造工藝確保產(chǎn)品在使用中的高度可靠性。CMR3000主要應用于要求低功耗和大量程的消費類電子行業(yè)，如游戲的輸入設備、各種電子設備的遙控和安全監(jiān)控以及手機行業(yè)。隨著各種新的應用不斷出現(xiàn)，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)將更加紅火。