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基于單片機改造邁氏干涉儀自動測量微小長度

2011-04-12 00:00:00彭真真趙碩浛劉月林程匹克陳程
現代電子技術 2011年11期

0 引言

薄膜厚度是薄膜性能參數的重要指標,如何準確、快速、方便地測量膜厚在實驗中具有十分重要的意義。邁克爾遜干涉儀測量激光波長是大學物理實驗中重要的一部分,實驗時實驗者手動調節微調手輪,人眼觀察干涉條紋,帶來很多人為誤差,影響測量結果。為了保護實驗者視力,提高測量精度,擴大測量范圍,同時促進光學教學實驗儀器的發展,在研究單片機的基礎上,對邁克爾遜干涉儀進行了探索和改造。

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