MgB2超導薄膜半開環結構微帶濾波器設計?

陸安江，雷濤，鄭迎賓

MgB2超導薄膜半開環結構微帶濾波器設計?

陸安江，雷濤，鄭迎賓

（貴州大學計算機科學與信息學院，貴陽550025）

采用MgB2超導薄膜材料設計了一個L頻段的濾波器。該濾波器采用半開環結構微帶諧振腔，產生準橢圓函數響應。濾波器帶寬為61 MHz，中心頻率為1.75 GHz，帶內波紋小于0.1 dB，回波損耗大于18 dB。針對微帶濾波器設計過程中出現的中心頻率偏移、回波損耗過大等問題提出了解決方法。

超導微帶濾波器；半開環結構；MgB2超導薄膜

1 引言

2001年，日本青山學院大學的秋光純（J.Akimitsu）教授宣布發現MgB2材料的超導電性，其超導臨界轉變溫度達39 K［1］。2002年3月，貴州大學的X. H.Fu實驗小組采用化學氣相沉積法［2］（Chemical Vapor Deposition，CVD）成功制備MgB2超導薄膜，該方法首先利用B2H6在高溫（495℃）下受熱分解，在Al2O3基片上沉積先驅的無定形B膜，再經過后異步退火過程生成MgB2超導薄膜，轉變溫度Tc＝39 K，溫度為10 K時電流密度可達107 A／cm2以上。用超導材料替代普通材料制成的濾波器，可以大幅度提高無線通信接收機的選擇性和靈敏度，增強抗干擾能力，提高通信距離和通信質量，減小發射機功率，應用于雷達系統，可以加長預警時間，提高制導精確度，增加末端制導距離等。1988年，美國開始進行高溫超導濾波器的研制；1995年，美國的Zhang等研制成19階切比雪夫高溫超導濾波器；2001年，日本的Ueno等研制成32階切比雪夫超導濾波器；1998年，英國的洪嘉生和Lancaster首先把準橢圓函數用于超導濾波器的設計，用較少的諧振單元獲得十分陡峭的邊帶；2003年，日本Tsuzuki等利用準橢圓函數理論制成了具有5對零點的超導濾波器［3］。和YBCO等高溫超導材料相比較，MgB2不但具有較大的相干長度、較大的臨界電流密度和臨界磁場強度、無弱連接效應、表面電阻小等優異性能，而且其結構和組成簡單，原料豐富，價格低廉、易于加工合成［4］。本文采用MgB2超導薄膜，設計了一個中心頻率為1.75 GHz的四階半開環微帶濾波器。

2 準橢圓函數濾波器設計

準橢圓函數濾波器在通帶內的特性與Chebyshev濾波器相同，在帶外，由于引進了衰減節，一對衰減節將會產生一對傳輸極點，可以有多對衰減節。準橢圓函數響應［5］為

式中，Ω是相對于低通原型濾波器的截止頻率ωc的歸一化頻率；ε是與回波損耗LR相關的波紋常數；LR＝20 lg S11，單位為dB，N是濾波器的階數；Ωa為S21（Ω）2的極點，Ω＝±Ωa構成濾波器的一對傳輸零點。濾波器之間的頻率變換：

式中，ω是帶通濾波器的頻率變量，FBW為相對帶寬，ω0為帶通中心頻率。

帶通濾波器兩個衰減極點ωa1、ωa2為

引進一對衰減節后的偶數節的準橢圓濾波器低通原型電路如圖1所示。

準橢圓函數帶通濾波器設計參數和低通原型參數之間的關系為

式中，Cm是電容的歸一化值，Jm為特征變換器，其值可以在文獻［5］中查表獲得，N為濾波器的節數。

我們這里選擇的是半開環諧振器，如圖2所示。

準圓函數濾波器響應的一對傳輸零點可以通過過耦合標準的切比雪夫濾波器的一對不相鄰的諧振器來實現。每一個方形構成一個微帶諧振器，諧振器之間通過耦合的不同形式和不同間隙來達到正、負耦合及相應耦合的大小。這種諧振器可以提供電耦合、磁耦合和混合耦合等3種耦合形式。正是由于諧振器能夠提供多種性質的耦合，才使它能實現多種函數的濾波器。諧振器之間的耦合系數可以通過下式來決定：

式中，fp1、fp2是兩個諧振腔發生耦合時測出的高低諧振頻率。

得到諧振器之間的耦合系數后，可以根據耦合形式通過耦合系數來反推各諧振器間的距離［6］，由于諧振器結構復雜，已經很難根據已有的公式直接去獲得諧振器間的精確距離。現在的全波電磁場分析軟件和高性能的PC平臺使得這項工作變得相對容易些。

3 四極點開環濾波器的設計

設計指標為：中心頻率fo＝1.75 GHz，通帶帶寬BW＝60 MHz；

基片參數：Al2O3（99.6%）的多晶拋光片為襯底；厚度h＝1 mm；相對介電常數為9.6；MgB2薄膜厚度為1μm［1－2］。

如圖3所示，由于標準的SMA接頭的內導體直徑為1.3 mm，為了使濾波器的抽頭與SMA連接器良好連接，需要把濾波器的抽頭線寬度加寬到1.5 mm，這樣就要求對文獻［7］中抽頭的設計進行改進。

利用以下近似計算公式［5］

取Ωa＝2.2，可以得到：C1＝0.950 63，C2＝1.359 08，J1＝－0.129 92，J2＝1.024 99（LR＝－20 dB）。利用公式（6）（8），求得：M1，2＝M3，4＝0.030 17；M2，3＝0.025 86；M1，4＝－0.004 686。

利用諧振器之間的耦合系數，得到濾波器各諧振器耦合間隔的初值［6］，用ADS仿真軟件進行優化，在優化過程經常會出現以下兩個問題。

（1）中心頻率偏移

中心頻率偏移可以通過調整諧振器的臂長l1、l2來改變諧振器長度，但是為了保證諧振器開口縫隙不至于太小而無法加工，可以通過同時增加或減少l1、l2的長度來調整中心頻率。同時增加l1、l2的長度，諧振器長度增大，則中心頻率下降；相反同時減少l1、l2的長度，諧振器長度減小，則中心頻率升高。中心頻率與諧振器長度滿足線性關系。

（2）回波損耗過大

當負載阻抗與特性阻抗相等時，則可以消除回波，由于無耗傳輸線的阻抗是以半波長λ／2為周期變化，所以可以通過微調抽頭位置來獲得良好的回波損耗特性。

經過設計優化后得到濾波器最終版圖如圖4所示，其頻率響應特性曲線如圖5所示。

微帶濾波電路的面積為27.70 mm×20.50 mm，抽頭寬度為1.5 mm。

濾波器通帶3 dB帶寬為61 MHz，帶內波紋小于0.1 dB，帶外抑制大于33 dB，通帶內回波損耗大于18 dB，在頻率為1.68 GHz與1.803 GHz時有衰減零點出現。準橢圓函數濾波器比切比雪夫濾波器具有更好的過渡特性。

采用銅質屏蔽盒，為了盡可能減小屏蔽盒的損耗，在屏蔽盒腔內外鍍一層金膜，以減小其損耗，采用M／A－COM公司生產的SMA密封接頭，并采用金屬銦對端口處進行密封［7－8］。密封后的濾波器實物圖如圖6所示。

對封裝后的超導濾波器在液氦環境下進行低溫測試，測試系統的原理圖如圖7所示。

采用Agilent矢量網絡分析儀測試MgB2超導薄膜濾波器性能，MgB2超導薄膜濾波器工作在液氦溫區（20 K），這就對測試系統所需要的低溫制冷技術［9］提出了比高溫超導濾波系統更高的要求。由于現有實驗條件限制，未能對所設計的MgB2超導濾波器性能進行測試。

在“十二五”規劃中曾提出不斷促進第三產業的發展，優化產業結構，提高第三產業比重的期許，而不斷促進第三產業的發展有利于促進我國經濟的發展，對于實現我國的可持續發展具有重要的意義。擴大增值稅征收范圍對于不斷促進我國產業結構優化具有重要的意義，也符合經濟發展的規律。

4 結束語

基于MgB2超導薄膜采用微帶半開環微波諧振器，實現了兩對衰減極點，提高了濾波器的選擇性，其體積小、重量輕、結構緊湊，并且過渡特性比契比雪夫特性的濾波器更為優越。本文提出的微帶濾波器設計方法以及調整中心頻率偏移、減小回波損耗的措施行之有效，對MgB2超導薄膜材料在通信電子方面的應用具有積極的探索意義。

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LU An－jiang was born in Zunyi，Guizhou Province，in 1979.He received the M.S.degree in Signal and Information Processing from Guizhou University，in 2006.He is currently working toward the Ph. D.degree in Microelectronics and Solid State Electronics at Guizhou University.His research interests include signal and information processing，microwave planar filters and mcroelectronic devices.

Email：luanjiang1999＠163.com

雷濤（1985－），男，山西運城人，分別于2007年和2010年獲貴州大學學士學位和碩士學位，現為貴州大學理學院博士研究生，主要研究方向為微波平面濾波器與微電子器件。

LEI Tao was born in Yuncheng，Shanxi Province，in 1985.He received the B.S.degree and the M.S.degree from Guizhou University in 2007 and 2010，respectively.He is currently working toward the Ph.D.degree in Microelectronics and Solid State Electronics at Guizhou University.His research interests include microwave planar filters and mcroelectronic devices.

Design of Semi-open-loop Structure Microstrip Filter using MgB2Superconducting Films

LU An-jiang，LEI Tao，ZHENG Ying-bin
（College of Computer Science＆Information，Guizhou University，Guiyang 550025，China）

An L－band microstrip filter is designed using MgB2superconducting film.Semi-open-loop microstrip resonators are utilized to realize the quasi-elliptic function response.The bandwidth of the filter is 61 MHz at 1.75 GHz center frequency，the band ripple is less than 0.1 dB and the return loss is better than 18 dB.Methods are proposed to solve the problem that the center frequency deviates and the return loss is too high.

superconducting microstrip filter；semi-open-loop structure；MgB2superconducting film

The National Natural Science Foundation of China（No.60666001）；The Natural Science Foundation of Guizhou Province（J［2008］2120）

TN713.5

A

10.3969／j.issn.1001－893x.2011.02.023

陸安江（1979－），男，貴州遵義人，2006年于貴州大學獲碩士學位，現為貴州大學博士研究生，主要研究方向為信號與信息處理、微波平面濾波器與微電子器件；

1001－893X（2011）02－0112－04

2010－11－26；

2010－12－22

國家自然科學基金資助項目（60666001）；貴州省自然科學基金資助項目（黔科合J字［2008］2120）