音圈電機驅動型快速控制反射鏡機械結構研究

徐新行，王兵，莊昕宇，陳寧，李瑩

（1.中國科學院 長春光學精密機械與物理研究所，長春 130033；2.吉林大學 管理學院，長春 130022）

快速控制反射鏡作為光學系統中的關鍵性器件，已在自適應光學、精密跟蹤、目標指向、光束控制及光通信等領域得到廣泛應用［1-3］。其主要功能是實現平面反射鏡的快速、高頻轉動，進而達到及時調整光束傾斜誤差、校正光路傳播方向和穩定光束的目的。其特點是反射鏡轉角范圍小，通常為分秒級，但要求系統的響應速度和控制帶寬非常高，一般為幾十赫茲到上千赫茲［4］。

目前，對于響應速度要求較高的快反系統大多采用壓電陶瓷進行驅動。利用壓電陶瓷的高頻響應特性，系統的響應頻率可以達到上千赫茲。但壓電陶瓷的行程很小，只有幾十微米，而所需的驅動電壓卻高達幾百伏。與之相對，音圈電機的驅動電壓只有十幾伏，行程卻是壓電陶瓷的成百上千倍。而且音圈電機自身的響應頻率也很高，再通過系統機械結構的優化及伺服控制系統的補償，系統的響應速度也能達到上百赫茲［5］。因此，音圈電機已逐漸成為快反系統的首選驅動元件之一。

在快反系統中，結構形式直接決定了系統的諧振頻率和負載能力［6，7］，進而影響快速控制反射鏡口徑與響應速度的提高。本文針對音圈電機驅動型快反系統，對各種常用結構形式進行了對比分析，并根據現有機械結構的不足，提出了新型的剛性承載方式，為大口徑、高負載型快速控制反射鏡的發展提供了一種新思路。

1 音圈電機驅動器分析

音圈電機驅動器主要分為直線式和回轉式兩種，分別提供直線型和圓弧型的運動形式，具有高加速度、高速度、高頻響、高精度的特點［8］。這兩種運動形式均可用于快反系統，實現平面反射鏡的高頻、快速轉動。

1.1 直線式音圈電機

圖1為直線式音圈電機的結構示意圖，如圖所示，這種音圈電機主要由線圈、永久磁鐵及各自的支撐件組成，通過調節線圈中電流的幅值、頻率和方向，即可實現電機精確的伸縮運動。其中，線圈與磁體相互分離，之間存在必要的工作間隙（用于快反系統的直線式音圈電機，工作間隙約為0.6～0.8mm）。由于此工作間隙的存在，一方面，避免了線圈與磁體之間的摩擦和碰撞；另一方面，使得磁鐵與線圈之間在徑向方向上無相互約束。即二者在進行相對直線運動時，允許有一定的相對轉動，從而實現平面反射鏡的小角度偏轉。

圖1 直線式音圈電機示意圖Fig.1 Linear voice coil actuator

在快反系統中，一般選擇線圈與平面反射鏡相連、磁鐵固定式的結構。主要是因為磁鐵的質量較大，一般為線圈的3-5倍。如此布置，可以大幅度減小運動件的轉動慣量，對提高系統的諧振頻率非常有利。不足是：線圈輸電線處于運動狀態，易出現斷路現象。此外，線圈易發熱，并將熱量直接傳遞給平面反射鏡，而反射鏡的面形對溫度較為敏感，因此，限制了系統的長時間連續工作。

圖2為快反系統中直線式音圈電機的排布方式及反射鏡受力情況示意圖。如圖2(a)所示，音圈電機通常采用對稱的排布方式，即通過兩對電機的推拉運動實現平面反射鏡繞軸線（X軸或Y軸）的旋轉。如圖2(b)所示，反射鏡在一對力偶的作用下進行旋轉，受力情況較好。若采用非對稱的布置方式，如圖2(c)所示，反射鏡在一個推（或拉）力作用下轉動的同時，會在中心支點處產生一個附加力，從而引起反射鏡的整體軸向位移，最終造成測角誤差，影響系統的總體工作精度。而采用3個音圈電機圓周均布的快反系統，在控制平面反射鏡實現二維偏轉時需要進行必要的坐標變換，增加了控制系統的負擔［7］。

圖2 直線式音圈電機排布及反射鏡受力情況示意圖Fig.2 Location of four voice coil actuators and force act on mirror

1.2 回轉式音圈電機

圖3為回轉式音圈電機的組成結構示意圖，此類音圈電機與傳統電機相同，采用軸/球軸承作為引導系統。所提供的弧型運動光滑平穩，且無需換向裝置，目前已成為了快速響應、有限角激勵系統中的首選驅動元件［8］。在快反系統中，該型音圈電機主要用于X-Y軸框架式結構，并采用角度測量傳感器對反射鏡體的轉角直接測量，有利于系統控制精度的提高。

2 快速控制反射鏡機械結構分析

目前研究最多的快反系統結構形式主要有兩種：一種是X-Y軸框架式，也稱為有軸式結構，內外框架分別繞兩相互正交的軸線轉動，實現平面反射鏡的二維偏轉，如圖4、圖5所示；另一種是柔性無軸式結構，主要利用彈性元件的撓性工作，其結構組成如圖6所示。

圖3 回轉式音圈電機示意圖Fig.3 Rotary voice coil actuator

2.1 X-Y軸框架式快速控制反射鏡

X-Y軸框架式快反系統主要包括：基座、內外框架、平面反射鏡、音圈電機和轉角測量傳感器等。外框架軸系安裝在基座上，固連有平面反射鏡的內框架軸系安裝在外框架上。內外框架的旋轉既可以選用直線式音圈電機驅動［9］（如圖4所示），也可以選用回轉式音圈電機驅動［10］（如圖 5所示）。這種結構的優點是結構剛度好、承載能力強，且轉角范圍大，尤其是以回轉式音圈電機為驅動元件的快反系統。缺點是對軸系的精度要求較高，系統的轉動慣量和摩擦力矩偏大，不利于諧振頻率的提高；而且此結構的體積偏大，受空間限制嚴重。

圖4 直線式音圈電機驅動型框架式結構Fig.4 X-Y frame structure driven by linear voice coil actutors

圖5 回轉式音圈電機驅動型框架結構Fig.5 X-Y frame structure driven by rotary voice coil actutors

2.2 柔性無軸式快速控制反射鏡

柔性無軸式快反系統主要由平面反射鏡、鏡托、彈性元件、音圈電機、基座及位移測量傳感器等組成，如圖6所示。它的優勢是：結構簡單，無摩擦阻力矩，響應速度快，但對彈性元件的要求高。即要求彈性元件在期望運動方向上具有足夠的柔性，而在限制運動的方向上具有足夠的剛度［11］。因此，系統工作時平面反射鏡的運動形式較為復雜（在產生轉角運動的同時會產生微量的線位移），不適于在振動、沖擊、回轉等惡劣的工作條件下使用。此外，這種結構形式的快反系統轉角范圍小、承載能力有限，更適于小口徑、輕量型的反射鏡體。

圖6 柔性無軸式結構Fig.6 Flexible axis structure without shafts

2.3 球面副式快速控制反射鏡

針對傳統型快反系統結構形式的不足，本文提出了新型球面副式支撐結構。

如圖7所示，球面副式快反系統主要包括：平面反射鏡、外球面鏡托、內球面鏡框、滾珠、音圈電機、支撐彈簧、基座及位移測量傳感器等。其中，鏡托的外側表面和鏡框的內側表面均為球面的一部分，之間通過高精度滾珠實現剛性連接，同球心裝配。因此，固連有平面反射鏡的鏡托即可借此球面副在鏡框中萬向旋轉。在正交分布的4個音圈電機的推拉力作用下，實現反射鏡的二維偏轉。4個位移測量傳感器如圖7所示對稱布置，每2個傳感器完成繞一個軸線旋轉偏轉角的測量，減小了反射鏡因軸向位移造成的測量誤差。

本文提出的快反系統結構簡單、可靠實用，既沒有復雜的軸系，又實現了剛性承載，并且對振動沖擊、回轉等惡劣的工作環境具有較強的適應性。盡管系統的轉動慣量和摩擦阻力矩偏大，結構的諧振頻率偏低。但對于響應速度要求不高，工作條件惡劣的光學系統，此結構具有較大發展空間。

3 結論

圖7 球面副支撐式結構及其電機傳感器分布示意圖Fig.7 Diagram of the structure with spherical pair and location of voice coil actuators and sensors

（1）音圈電機憑借自身高速度、高頻響、高精度的特點，在工程應用領域，正逐步成為快反系統的首選驅動元件之一。

（2）X-Y框架式快反系統承載能力強、轉角范圍大，但軸系結構復雜，轉動慣量、摩擦阻力矩和體積較大，系統諧振頻率不高。

（3）柔性無軸式快反系統結構簡單、響應速度快，是目前國內外發展的主流結構，但承載能力和對工作環境的適應能力有限。

（4）新型球面副支撐式快反系統，既無復雜軸系結構，又實現了剛性承載，并且對振動沖擊、回轉等惡劣工作環境具有較強的適應性，為新型快速控制反射鏡的發展提供了一種新思路。

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