1 引言
人們的生活和工農業生產,以及動植物的生存和生長,都與周圍環境的濕度有著密切的關系。隨著科技的進步在國民經濟的多個部門對于濕度的測量和控制日益顯得重要和迫切,寺別是隨著生活水平的提高,空氣質量越來越受到重視其中的相對濕度作為衡量居住適宜程度的關鍵指標也得到了重視次量的濕度控制電器進入人們的生活,濕度傳感器的應用領域不斷擴大濕度是指氣體中的水分含量。通常使用的濕度表示方法有混合比、露點和相對濕度,在惡劣條件下工作,例如氣流速度、溫度、濕度變化非常劇烈或測量污染嚴重的工業氣體時,將使精度大大降低。在人類社會逐步由工業化時代向信息化時代邁進的時候,能源、信息和材料己成為新技術革命的三大支柱。傳感器是能感受規定的被測量信號(物理或化學量)并按照一定規律將其轉換成可測信號(頻率信號等)的器件或裝置。其中敏感元件是傳感器的核心,選擇并優化敏感材料以及新功能材料的開發和應用一直是傳感器研究的熱點。