基于隨機共振和微納傳感器陣列的六氟化硫檢測方法研究

摘 要 建立了一種基于隨機共振和微納傳感器陣列的六氟化硫氣體檢測方法。使用兩個360 μm極間距離的微納傳感器構成的陣列結合隨機共振算法，在室溫常壓，相對濕度70%的條件下檢測3．0~24 g/m3 SF6氣體及純SF6氣體，以信噪比極大值實現各濃度SF6氣體的區分。傳感器工作于微電離平衡狀態，檢測過程中無有害氣體產生，安全性較高。為檢驗該方法的實用性，依據國家標準在溫度20 ℃、相對濕度70%和常壓條件下模擬現場檢測3．0~12 g/m3SF6氣體，結果表明： 本方法具有較好的重復性和實用性。

關鍵詞 六氟化硫； 微納傳感器； 隨機共振