打破多年依賴進口局面納米等離子刻蝕機進大生產線

半導體工藝裝備是一個非常復雜的系統。多年來，中國半導體行業所需設備幾乎全部依賴進口。近20年來，中國半導體行業的強勁發展不僅沒有拉動中國半導體裝備的發展，反而由于引進的沖擊使中國的半導體設備行業瀕臨全軍覆沒。

隨著中國近年來集成電路、光伏、LED、FPD產業與國際先進水平差距的縮小，相關的配套材料、零備件、工藝設備、維護服務等支撐行業迎來了千載難逢的發展機遇。國家重大科技專項的實施，大大增強了中國半導體裝備產業的整體競爭能力。

中國近年來半導體設備產業的進步與國家重大專項的支持有關，更為重要的是中國本土芯片制造企業、太陽能電池片、顯示面板企業、LED芯片制造企業的技術進步和跨越式發展拉動了設備產業的發展。北方微電子是國內第一家將半導體核心工藝設備進入主流生產線的本土設備企業。

國產設備進入主流大生產線，首先是本土設備制造商要熟悉和遵從國際半導體產業的國際慣例和游戲規則，在各個方面一定要比國外競爭對手做得更好、更到位，設備技術工藝性能、設備價格、服務支持、備品備件、耗材成本等都要有量化指標，而且有相對的競爭優勢才能獲取客戶的興趣和信任。

半導體設備產業是半導體工業的基礎，是中國在未來戰略性新型產業實現跨越的根本保證，這已經得到各級領導和業內專家的認同，設備產業也受到前所未有的重視和極大的關注。但是，一個先進的半導體制造工廠是可以依靠花重金引進先進設備建設起來的，而一個先進的設備工廠是無法靠引進來建成的。國際主流設備公司研發一臺大型設備從立項到研發成功再到客戶認可大約需要4到5年時間，研發的方向和資金的投入需要具有極高的風險控制能力，尤其是對市場、技術趨勢的判斷和把握，設備產業被認為是極具風險的產業。對國內設備企業來說，跟蹤已非易事，要實現技術引領就更為艱難，成功需要堅持，也需要機遇。

一家設備企業從初創到實現自負盈虧，并實現自我持續發展，最根本的是要開發出市場認可、客戶需要、而且與競爭對手相比更具競爭力的產品，在銷售推廣、生產制造、質量控制、售后服務、財務管理、人力資源、知識產權、資本運營等各方面都具備國際一流的能力和水平，這些都需要時間，需要設備產業自身堅持不懈的努力，更需要產業界更多的理解和持續不斷的支持。此次國家重大專項的目標不是突破幾項關鍵技術、獲得幾項科研成果，而是通過持續不斷的努力，在某些科技領域獲得國際競爭優勢，培育幾個具有國際競爭力的世界級企業。

來源:中國電子報