微型機電繼電器研究進展
2005-04-29 00:00:00張東梅丁桂甫姜政
電子產品世界 2005年5期
摘 要： 微型化是機電繼電器最重要的發展方向之一，MEMS設計和制造技術的進展開辟了機電繼電器微型化的
嶄新途徑。本文系統介紹了典型MEMS繼電器的研究進展， 簡要地比較、評述了它們的優勢和缺點。關鍵詞： 機電繼電器；微驅動器；微機械加工技術；雙穩態繼電器
摘 要： 微型化是機電繼電器最重要的發展方向之一，MEMS設計和制造技術的進展開辟了機電繼電器微型化的
嶄新途徑。本文系統介紹了典型MEMS繼電器的研究進展， 簡要地比較、評述了它們的優勢和缺點。關鍵詞： 機電繼電器；微驅動器；微機械加工技術；雙穩態繼電器
