濺射于NiMnCo上的TiO2薄膜的結構與相變
2005-04-29 00:44:03顧廣瑞李哲奎林景波李全軍鄭偉濤趙永年金曾孫
吉林大學學報(理學版) 2005年4期
關鍵詞：結構
顧廣瑞 李哲奎 林景波 李全軍 鄭偉濤 趙永年 金曾孫
摘要：利用射頻磁控濺射方法以純金屬鈦做靶材在氬氧混合氣體中制備了TiO2薄膜。X射線衍射結果表明，在NiMnCo合金基底上成功地沉積了具有金紅石、金紅石／銳鈦礦和銳鈦礦結構的TiO2薄膜，工作氣壓從0．2Pa變化到2h，TiO2薄膜的結構由金紅石相變到銳鈦礦相。低于600nm時，厚度對TiO2薄膜結構沒有明早影響。
關鍵詞：TiO2薄膜；XRD光譜；金紅石；銳鈦礦
中圖分類號：O647．2
文獻標識碼：A
文章編號：1671-5489(2005)04—0517—04
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