表面氧化物含量對ＳｉＣ漿料黏度影響的研究

寧叔帆　李鴻巖　陳　維　劉　斌　陳壽田

摘要：研究了表面雜質對SiC漿料黏度和固相含量的影響，利用HF酸洗可有效降低SiC微粉表面SiO₂和金屬氧化物含量，從而提高SiC微粉的表面Zeta電位．試樣SiC—1的Zeta電位由酸洗前的60．71 mV升高至酸洗后的72．49mV，試樣SiC-2的Zeta電位由酸洗前的55．728mV升高至酸洗后的63．546mV．HF酸洗還可破壞SiC微粉表面羥基結構，并以F—取代OH—的位置，使SiC表面由親水性變為疏水性．