基于微壓印成形的三維微電子機(jī)械系統(tǒng)制造新工藝
2005-04-29 00:44:03王權(quán)岱段玉崗丁玉成盧秉恒張亞軍
西安交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2005年9期
王權(quán)岱 段玉崗 丁玉成 盧秉恒 張亞軍
摘要：針對(duì)目前微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)制造中存在的三維加工能力不足的問題，將壓印光刻技術(shù)和分層制造原理相結(jié)合，研究了三維MEMS制造的新工藝。采用視頻圖像原理構(gòu)建了多層壓印的對(duì)正系統(tǒng)，對(duì)正精度達(dá)到2／μm。通過降低黏度和固化收縮率，兼顧彈性和固化速度，開發(fā)了適用于微壓印工藝的高分辨率抗蝕劑材料，并進(jìn)行了勻膠、壓印和脫模工藝的優(yōu)化實(shí)驗(yàn)。通過原子力顯微鏡對(duì)壓印結(jié)果進(jìn)行了分析，分析結(jié)果表明，圖形從模具到抗蝕劑的轉(zhuǎn)移誤差小于8％，具有制作復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的能力，同時(shí)也為MEMS的制作提供了一種高效低成本的新方法。
關(guān)鍵詞：壓印光刻；分層制造；微電子機(jī)械系統(tǒng)；對(duì)正
中圖分類號(hào)：TH162．1；TH163文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：0253—987X(2005)09—0946—04
